真空壓力傳感器通常由敏感元件和轉換元件兩部分組成。敏感元件是指傳感器能直接感受到或響應被測物的部分;轉換元件是指傳感器的一部分,它將敏感元件感受到的或響應的測量應變轉換成適合傳輸或測量的電信號。
由于傳感器的輸出信號一般很弱,需要對其進行調制和放大。隨著集成技術的發展,人們也將這部分電路和電源等電路安裝在傳感器內部。這樣,傳感器可以輸出易于處理和傳輸的有用信號。過去技術相對落后的時候,所謂的傳感器是指上面的敏感元件,發送器就是上面的轉換元件。
通常是指將變化的壓力信號轉換為相應的電阻或電容信號的敏感元件。壓力變送器一般是指由壓敏元件和調節回路組成的一套完整的壓力測量回路單元。一般可直接輸出與壓力成線性關系的標準電壓信號或電流信號,供儀表、PLC、采集卡等設備直接采集。
真空壓力傳感器主要基于壓電效應(壓電效應),它利用電氣元件和其他機械將要測量的壓力轉換為電能,然后執行相關的測量工作。精密儀器,如許多壓力變送器和壓力傳感器。
壓電效應可分為正壓電效應和逆壓電效應。
(1)逆表電效應
逆壓電效應是指向晶體施加交變電場以引起晶體機械變形的現象,也稱為電致伸縮效應。具有逆壓電效應的換能器可用于電聲和超聲工程。壓電變形有五種基本形式:厚度變形、長度變形、體積變形、厚度剪切和平面剪切。壓電晶體是各向異性的,并非所有的晶體都能在這五種狀態下產生壓電效應。
(2)正外電效應
當晶體在固定方向上受到外力時,內部會發生電極化現象,并在某些兩個表面上產生與符號相反的電荷;當外力被消除時,晶體恢復到不帶電狀態;當它改變時,電荷的極性也隨之改變;晶體力產生的電荷量與外力的大小成正比。大多數壓電傳感器都是利用正壓電效應制成的。